提出成像整体解决方案

画像測定器

这些仪器安装在半导体和电子元件等生产设备上,用于进行视觉和尺寸检测。
我们根据客户需求提供图像测量设备,包括相机、镜头和照明设备。
它们还可用于批量生产前的评估测试。

 

特点/功能

✔ 独特开发的自动缩放功能

已开发出自动调整夹具安装、摄像机安装位置和图像参数的功能。
已开发出自动调整夹具安装、相机安装位置和图像参数的功能。
通过自动调整以前需要手动完成的工作,可以大大提高检测精度。

自動スケーリング機能

 

 ✔ 2,000 多个测试项目

通过从 2,000 多个检测项目中建立一个最佳方案,即使是难以检测的微米级划痕、污垢和凹痕也能检测出来。

2000を越える検査項目

 

介绍成像和测量仪器

(1) 晶圆图扫描

主要检测功能 模式匹配、坐标测量
预处理和后处理过滤功能 二值化、平滑、轮廓、扩张和压缩、压缩和扩张、噪声处理
各种数据 64 个变量
日志 检测日志、错误日志、操作日志、系统日志
其他 验证/调试功能

 

 

 

(2) 近红外成像测量

目标材料 Si(硅)、GaAs(砷化镓)、陶瓷
特点 硅晶圆和芯片、MEMS 和 CSP 等半导体器件。
可检测内部金属布线、芯片接合等。
近赤外線画像検査k1.png

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